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开机：打开仪器左侧面板 instrument 和RFG 开关，仪器开始自检。打开软件 打开氩气和排风开关，确保机械真空泵开关打开 抽真空 真空度小于5*106 torr
开机：
instrument
RFG
开氩气和排风
点击vacuum抽真空（小于5ppm）
关机：
点击plasma关闭等离子体
5分钟后点击vacumm卸载真空，点击真空度诊断状态栏，分子涡轮泵泵速小于10后方可关闭主机电源
开机
1、
先关火炬，5分钟后关真空，等到小于10赫兹，关闭软件，关yi qi
